نیمه هادی ها از چه موادی ساخته شده اند؟اهداف کندوپاش مولیبدن برای نیمه هادی ها
امروزه، اهداف کندوپاش در طیف گسترده ای از کاربردها از صنعت نیمه هادی تا رسوب لایه نازک مواد مختلف در پردازش مدارهای مجتمع استفاده می شود.کندوپاش یک تکنیک شناخته شده برای رسوب لایه های نازک از انواع مواد بر روی بسترهایی با اشکال و اندازه های مختلف است.برای به دست آوردن خواص مورد نظر در فیلم‌های رسوب‌شده با کندوپاش، مواد ساخت و فرآیندهای مورد استفاده برای ساخت هدف کندوپاش بسیار مهم هستند.در زیر نگاهی به اهداف کندوپاش مولیبدن برای نیمه هادی ها می اندازیم.
علاوه بر اهداف فلزی خالص مانند تنگستن، مولیبدن، نیوبیم، تیتانیوم و سیلیکون، اهداف آلیاژی مانند تنگستن، مولیبدن، تیتانیوم، سیلیکون و تانتالم و همچنین ترکیباتی مانند اکسیدها یا نیتریدها نیز وجود دارد.فرآیند تعیین مواد به اندازه پارامترهای عملیاتی رسوب گذاری که مهندسان و دانشمندان در طول فرآیند پوشش کامل می کنند، مهم است.
در مقایسه با سایر روش‌های رسوب‌گذاری، فیلم پراکنده‌شده چسبندگی بهتری روی بستر دارد و مواد با نقطه ذوب بسیار بالا مانند مولیبدن و تنگستن نیز به راحتی پاشیده می‌شوند.همچنین، کندوپاش را می توان از بالا به پایین انجام داد، در حالی که تبخیر فقط از پایین به بالا قابل انجام است.
اهداف کندوپاش معمولاً گرد یا مستطیل شکل هستند، اما اشکال دیگری از جمله طرح های مربع و مثلثی نیز موجود است.زیرلایه جسمی است که قرار است پوشش داده شود، که می تواند شامل ویفرهای نیمه هادی، سلول های خورشیدی، عناصر نوری یا بسیاری از احتمالات دیگر باشد.ضخامت پوشش معمولاً در محدوده آنگستروم تا میکرون است.غشاء می تواند یک ماده یا چند ماده در یک ساختار چند لایه باشد.
مولیبدن به عنوان یک فلز نسوز با طیف وسیعی از کاربردها، دارای خواص مکانیکی عالی، انبساط کم، هدایت حرارتی بالا و هدایت الکتریکی بسیار بالا در دماهای بالا است.به عنوان یک هدف کندوپاش، ترکیبات مختلفی مانند هدف مولیبدن خالص، هدف تیتانیوم مولیبدن، هدف تانتالیوم مولیبدن، هدف آلیاژ مولیبدن (مانند صفحه TZM) وجود دارد.
هدف کندوپاش مولیبدن دارای ویژگی های خلوص بالا، چگالی بالا، دانه های ریز و یکنواخت است، به طوری که راندمان کندوپاش بسیار بالا، ضخامت فیلم یکنواخت و سطح حکاکی صاف در طول فرآیند کندوپاش به دست می آید.